控制理论与应用

作者：郭文有,潘春荣

单位：江西理工大学机电工程学院,江西理工大学机电工程学院

关键词：组合设备; 腔室清洗; 初始暂态; 晶圆制造

基金：国家自然科学基金项目(72161019), 江西省高等学校井冈学者特聘教授岗位

为了提升腔室洁净度, 晶圆厂需对组合设备腔室进行清洗操作, 从而提高晶圆的加工质量. 考虑腔室清洗时间和晶圆驻留时间的约束条件下, 本文研究了单臂组合设备的初始暂态调度问题. 首先, 提出了机械手的初始暂态活动规则, 并对机械手活动序列进行描述, 实现了系统的初始暂态可调度性; 其次, 对机械手在初始暂态和稳态的活动时间进行了建模; 然后, 根据系统的时间特性, 建立了初始暂态调度的线性规划模型; 最后, 通过实例验证了该方法的有效性. 与已有的虚拟晶圆方法相比, 该调度方法能有效减少初始暂态的完工时间, 提高了组合设备的晶圆生产效率.

来源：2024年第2期

《控制理论与应用》期刊编辑部

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