控制理论与应用

作者：潘春荣

单位：江西理工大学机电工程学院

关键词：晶圆制造; 组合设备; Petri网; 清洗工艺; 终止暂态

基金：国家自然科学基金项目(51665018)资助.

随着多品种小批量生产模式的普及, 导致了组合设备频繁的暂态加工过程. 为了提高组合设备的生产柔性, 同时考虑晶圆驻留时间约束和腔室清洗时间约束, 研究了单臂组合设备的终止暂态调度问题. 首先, 提出了1–周期清洗工艺的暂态调度规则, 并采用了面向资源的Petri网对单臂组合设备的终止暂态过程进行建模, 引入避免死锁的变迁触发规则; 其次, 根据系统的终止暂态时间特性并考虑不同的调度情形, 建立了终止暂态调度的线性规划模型; 最后, 通过实例验证了该方法的可行性. 实验结果表明, 与运用改进拉式策略的虚拟晶圆方案相比, 该调度方案可有效地减少组合设备终止暂态的完工时间, 并满足晶圆制造的工艺要求.

来源：2021年第6期

《控制理论与应用》期刊编辑部

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