控制理论与应用

作者：潘春荣,熊文清

单位：江西理工大学 机电工程学院,江西理工大学 机电工程学院

关键词：晶圆制造;组合设备;启发式算法;调度;Petri网

基金：国家自然科学基金(51665018)，福建省电机控制与系统优化调度工程技术研究中心开放课题(FERC006)

在半导体晶圆制造过程中，驻留时间延迟过长对晶圆质量具有消极影响。本文研究单臂组合设备稳态调度中如何合理地分配机械手等待时间，抵消驻留时间延迟的问题。首先，采用Petri网模型描述晶圆制造过程，分析了单臂组合设备稳态调度的时间特性，获得了稳态下工序驻留时间延迟计算表达式。其次，通过解构机械手等待时间对驻留时间延迟的影响机理，提出了一种机械手等待时间分配优先级规则。进一步，将虚拟瓶颈工序用于辅助分配机械手等待时间，结合优先级规则，提出了一种单臂组合设备稳态调度启发式算法。最后，通过例子验证了算法的可行性与有效性。与传统拉式策略和尽早加工策略对比，该算法能有效地减少单臂组合设备稳态调度下的驻留时间延迟并能满足晶圆制造的严格要求。

来源：2019年第10期

《控制理论与应用》期刊编辑部

查看控制理论与应用杂志2019年第10期